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01.03
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【生堯大小事】水資源處理:半導體晶圓廠機械研磨(CMP)廢水的處理(下)

在中篇介紹了目前國內研究可處理廢水之多種方法,本篇將介紹振動研磨所帶來的環境問題與保護環境的替代方案。




在中篇介紹了目前國內研究可處理廢水之多種方法,本篇將介紹振動研磨所帶來的環境問題與保護環境的替代方案。

 

■振動研磨

 

 

而振動研磨廢水中,含有大量拋光化合物的介面活性劑,油和附著在金屬加工產品上的拋光助劑混合。然而,研磨加工製程中所添加的各種藥液雖然有助於工件表面的平整性,但在後端廢水處理上造成絮凝困難,COD偏高等處理難題。

 

 

■以機能性混凝劑取代大量石灰

 

 

■以機能性混凝劑取代氯化鐵

 

 

資料引用來源:

•弘光科技大學環境工程研究所 蘇弘毅 教授

•何永隆 弘光科技大學環境工程研究所 碩士論文

•陳佳欣  國立交通大學環境工程系所 碩士論文

•張健桂 老師 環境科技實驗室  http://member.che.kuas.edu.tw/isaac/index.htm

•公隆化學股份有限公司

 

※以上是SEYA生堯砥研的分享,若對砂輪、調整輪的選擇與搭配,或研磨相關技術有任何問題,歡迎與我們聯絡與諮詢!

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